Sök Bilder Maps Play YouTube Nyheter Gmail Drive Mer »
Logga in
Använder du ett skärmläsningsprogram? Öppna boken i tillgänglighetsläge genom att klicka här. Tillgänglighetsläget har samma grundläggande funktioner men fungerar bättre ihop med skärmläsningsprogrammet.

Patent

  1. Avancerad patentsökning
PublikationsnummerCN1902739 A
Typ av kungörelseAnsökan
AnsökningsnummerCN 200480039531
PCT-nummerPCT/US2004/043393
Publiceringsdatum24 jan 2007
Registreringsdatum23 dec 2004
Prioritetsdatum30 dec 2003
Även publicerat somEP1702356A2, US7247578, US20050148131, US20070197042, WO2005067020A2, WO2005067020A3
Publikationsnummer200480039531.6, CN 1902739 A, CN 1902739A, CN 200480039531, CN-A-1902739, CN1902739 A, CN1902739A, CN200480039531, CN200480039531.6, PCT/2004/43393, PCT/US/2004/043393, PCT/US/2004/43393, PCT/US/4/043393, PCT/US/4/43393, PCT/US2004/043393, PCT/US2004/43393, PCT/US2004043393, PCT/US200443393, PCT/US4/043393, PCT/US4/43393, PCT/US4043393, PCT/US443393
UppfinnareJ·K·布拉斯克
Sökande英特尔公司
Exportera citatBiBTeX, EndNote, RefMan
Externa länkar:  SIPO, Espacenet
改变膜的刻蚀选择性的方法
CN 1902739 A
Sammanfattning  tillgängligt på kinesiska
Hänvisningar finns i följande patent
citeras i Registreringsdatum Publiceringsdatum Sökande Titel
CN103165426A *12 dec 201119 jun 2013中芯国际集成电路制造(上海)有限公司半导体器件的制作方法
CN103165426B *12 dec 20119 sep 2015中芯国际集成电路制造(上海)有限公司半导体器件的制作方法
Klassificeringar
Internationell klassificeringH01L21/8238, H01L21/265, H01L21/306, H01L21/28, H01L21/311, H01L29/49, H01L29/78, H01L29/51, H01L21/3213, H01L21/336
Kooperativ klassningY10S438/924, H01L29/517, H01L21/28194, H01L29/785, H01L29/66545, H01L21/823842, H01L21/28079, H01L29/518, H01L21/28211, H01L29/495, H01L21/30612, H01L21/31111, H01L29/7833, H01L29/6659, H01L21/30608, H01L21/32134
Europeisk klassificeringH01L29/66M6T6F8, H01L29/66M6T6F11B3, H01L29/78F, H01L29/49D, H01L21/306B4, H01L21/28E2C2V, H01L21/8238G4, H01L29/51M, H01L21/28E2B5, H01L21/3213C2, H01L21/311B2, H01L21/28E2C2D, H01L21/306B3
Juridiska händelser
DatumKodHändelseBeskrivning
24 jan 2007C06Publication
21 mar 2007C10Request of examination as to substance
19 okt 2011C12Rejection of an application for a patent