Sök Bilder Maps Play YouTube Nyheter Gmail Drive Mer »
Logga in
Använder du ett skärmläsningsprogram? Öppna boken i tillgänglighetsläge genom att klicka här. Tillgänglighetsläget har samma grundläggande funktioner men fungerar bättre ihop med skärmläsningsprogrammet.

Patent

  1. Avancerad patentsökning
PublikationsnummerCN1774525 A
Typ av kungörelseAnsökan
AnsökningsnummerCN 02823903
PCT-nummerPCT/US2002/034553
Publiceringsdatum17 maj 2006
Registreringsdatum25 okt 2002
Prioritetsdatum26 okt 2001
Även publicerat somCN1774525B, CN100524692C, CN101174577A, US6916398, US7780788, US8293328, US8318266, US8668776, US20030079686, US20030082301, US20030082307, US20030124262, US20050173068, US20070003698, US20070026147, US20070099415, US20080038463, US20100247767
Publikationsnummer02823903.2, CN 02823903, CN 1774525 A, CN 1774525A, CN-A-1774525, CN02823903, CN02823903.2, CN1774525 A, CN1774525A, PCT/2002/34553, PCT/US/2/034553, PCT/US/2/34553, PCT/US/2002/034553, PCT/US/2002/34553, PCT/US2/034553, PCT/US2/34553, PCT/US2002/034553, PCT/US2002/34553, PCT/US2002034553, PCT/US200234553, PCT/US2034553, PCT/US234553
Uppfinnare陈岭, 古文忠, 吴典晔, 仲华, 艾伦·奥耶, 诺尔曼·中岛, 张镁
Sökande应用材料有限公司
Exportera citatBiBTeX, EndNote, RefMan
Externa länkar:  SIPO, Espacenet
用于原子层淀积的气体输送装置
CN 1774525 A
Sammanfattning  tillgängligt på kinesiska
Hänvisningar finns i följande patent
citeras i Registreringsdatum Publiceringsdatum Sökande Titel
CN101528973B24 okt 200725 apr 2012应用材料公司用于原子层沉积的涡流室盖
CN101809196B24 sep 200810 jul 2013伊斯曼柯达公司用于形成薄膜的沉积系统
CN102144281B19 aug 200925 jun 2014应用材料公司原位腔室处理与沉积工艺
CN102586760B *24 okt 20076 jul 2016应用材料公司用于原子层沉积的涡流室盖
CN102586761B24 okt 200715 okt 2014应用材料公司用于原子层沉积的涡流室盖
US87780799 okt 200815 jul 2014Valence Process Equipment, Inc.Chemical vapor deposition reactor
Klassificeringar
Internationell klassificeringH01L21/285, C23C16/44, C23C16/34, H01L21/768, C23C16/455
Kooperativ klassningC23C16/4411, C23C16/45508, C23C16/45582, C23C16/45563, H01L21/28562, H01L21/76871, C23C16/34, H01L21/76846, C23C16/45525, C23C16/45512, C23C16/45544, H01L21/76843, C23C16/4412, C23C16/45504
Europeisk klassificeringC23C16/455A6, C23C16/455F2, C23C16/455K, C23C16/455F2D, C23C16/455M, H01L21/768C3B4, H01L21/768C3B, C23C16/455A2, C23C16/44C, H01L21/285B4H2, C23C16/455B, H01L21/768C3S, C23C16/34, C23C16/44H
Juridiska händelser
DatumKodHändelseBeskrivning
17 maj 2006C06Publication
12 jul 2006C10Request of examination as to substance
16 jun 2010C14Granted